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洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好湿度范围为35—45%。洁净实验室设计推荐成都博一医药设计有限公司。四川疫苗设计
气流流型的设计应满足以下要求:1.气流流型应符合空气洁净度等级的要求。当空气洁净度要求为1~4级时,应采用垂直单向流;当空气洁净度要求为5级时,应采用垂直单向流或水平单向流;当空气洁净度要求为6~9级时,宜采用非单向流。2.洁净室工作区的气流分布应均匀。3.洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺要求。4.洁净室的送风量应取以下三项中的最大值:a.为保证空气洁净度等级的送风量;b.根据热、湿负荷计算确定的送风量;c.向洁净室内供给的新鲜空气量。5.为保证空气洁净度等级,送风量应按照下表中的相关数据进行计算,或根据室内发尘量进行计算。四川疫苗设计细胞洁净车间欢迎咨询成都博一医药设计有限公司。
洁净厂房的消防控制设备及线路连接应具备可靠性。控制设备的控制及显示功能,应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ16)及《火灾自动报警系统设计规范》(GB50116)的规定。在洁净区内,对火灾报警进行核实后,需要进行以下消防联动控制措施:1.启动室内消防水泵,并接收其反馈信号。除了自动控制外,还应在消防控制室设置手动直接控制装置。2.关闭有关部位的电动防火阀,停止相应的空调循环风机、排风机及新风机,并接收其反馈信号。3.关闭有关部位的电动防火门和防火卷帘门。4.控制备用应急照明灯和疏散标志灯点亮。以上是洁净厂房消防联动控制的基本要求,旨在确保在火灾发生时能够及时采取相应的措施,保障人员的安全和设备的完整。
洁净室中的气流速度规定这里要讨论的气流速度是指洁净室内的气流速度,在其他洁净空间中的气流速度在讨论具体设备时再说明。对于乱流洁净室由于主主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求;①送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。②吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0.2m/s。对于平行流洁净室习惯上称层流洁净室,由于主要靠气流的“活塞打挤压作用排除行染,所以截面上的速度就是非常重要的指标。过去都参考美国20gB标准,采用0.45m/s.但人们也都了解到这样大速度所需要的通风量是极大的,为了节能,也都在探求降低风速的可行性。细胞厂房设计欢迎咨询成都博一医药设计有限公司。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。①洁净隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。②洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。③并装局部洁净室(CleanSpot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。厂房设计欢迎咨询成都博一医药设计有限公司。重庆单克隆抗体厂房设计
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静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞,纺纱线纷乱,印刷品深浅不均和制品污染;静电事故的产生主要在于静电的产生和积累,而气流的流动,气流和管道、风口、过滤器等摩擦,人体和衣服的摩擦,衣服之间的摩擦,工艺上的研磨,喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作,所有选些都可能产生静电,在一般情况下,越是电导率小的非导体(绝缘体),由于电荷产生后不易流动,因此表现为越容易带电。静电问题所以在洁净室中特别严重,是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素,而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面,尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率,都极易产生静电和集聚静电,在洁净室的静电灾害未被重视以前,这些材料料是被采用的。四川疫苗设计
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