成都氢氟酸工厂

时间:2023年06月15日 来源:

电子级氢氟酸是集成电路行业中的关键辅助材料之一,用于晶圆表面清洗、芯片加工过程的清洗和腐蚀等。其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。根据纯度和洁净度,可将其分为EL、UP、UPS、UPSS、UPSSS等5个级别,其中UPSS、UPSSS是目前纯度的两个级别。英文名 Hydrofluoric Acid,分子式HF,为无色透明液体 ,相对密度1.15~1 .18,沸点 112 . 2 ℃,在空气中发烟 ,有刺激性气味 ,剧毒。能与一般金属、 金属氧化物以及氢氧化物发生反应 ,生成各种盐类。腐蚀性极强 ,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。易溶于水、醇 ,难溶于其他有机溶剂。高纯氢氟酸为强酸性清洗、 腐蚀剂 ,可与硝酸、冰醋酸、 双氧水及氢氧化铵等配置使用。在使用氢氟酸时,必须穿戴适当的防护装备。成都氢氟酸工厂

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电子级氢氟酸下游应用市场涉及集成电路、半导体、太阳能光伏、液晶显示等微电子行业,以及用作分析试剂和制备高纯度含氟化学品等领域。我国电子级氢氟酸应用市场中,微电子行业占据大部分份额,其他领域应用占比较小。在国家政策的推动以及市场需求的带动下,我国集成电路、太阳能光伏、液晶显示行业规模迅速扩张,因此我国电子级氢氟酸行业发展势头强劲。按照用途的不同,电子级氢氟酸可以分为EL、UP、UPS、UPSS四个级别,其中,UPSS级别是现阶段较先进的级别。在行业发展初期,全球优越电子级氢氟酸市场主要被日本企业所垄断。安徽55%氢氟酸经销商在使用氢氟酸时必须遵循相应的安全操作程序和应急处理程序。

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氟化氢是一种有毒气体,溶于水形成氢氟酸。氢氟酸是一种弱酸,具有特殊腐蚀性,所谓特殊腐蚀性,是指它能腐蚀其他强酸所不能腐蚀的玻璃、单晶硅等半导体材料。在半导体生产工艺中有重要应用。氢氟酸的生产并不困难,其主要原料是萤石,而我国萤石的探明储量与南非并列世界一位,按说是具有得天独厚优势的。但应用于半导体生产的氢氟酸可不是普通的氢氟酸,是超净高纯的电子级氢氟酸。普通工业级氢氟酸,洗个玻璃还行,用来洗半导体,基本上只能生产出废品来。因为普通工业级氢氟酸,含有大量杂质,这些杂质对芯片生产是致命的。

应力腐蚀是材料在应力和特定介质共同作用下所引起的材料开裂。在氢氟酸中碳钢和蒙乃尔合金均可能产生应力腐蚀开裂。这种应力腐蚀是随温度的增加而加剧。常用材料的耐氢氟酸腐蚀特性:1)碳钢在一定范围内能耐氢氟酸腐蚀。在无水氢氟酸中(酸浓度85~高标准,酸中含水≤3%)碳钢使用温度不高于71℃。但也有资料报道“在60℃以下,浓度大于75%以上的氢氟酸可以选用碳钢。”蒙乃尔合金是目前抗氢氟酸腐蚀较好的金属材料之一。2)高铬钢和铬镍不锈钢在氢氟酸浓度高于50%的介质中有严重的点腐蚀。12Cr和1Crl8Ni9Ti等不锈钢在氢氟酸中生成的保护膜致密性差,即使在常温下也能为氢氟酸所破坏。一般不选用。3)铸铁本身性脆,机械性能差,碳、硫、磷、硅含量较高。不耐氢氟酸腐蚀。氢氟酸使用时必须遵循相应的安全要求和操作规范。

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氟化氢的生产并不难,但要想应用到电子行业,就必须做到非常精密的提纯,而难就难在了提纯上。现行的提纯手法主要是利用氟化氢的挥发性以及不同物质沸点不同,采用精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、减压蒸馏、气体吸收等技术对氟化氢进行纯化。在此过程中,要把三价砷的氟化物氧化成五价,避免它跟着氟化氢一起蒸馏出来。然后用高纯水溶解氟化氢,再过超滤膜过滤杂质,之后进行检验和无尘灌装。在技术方面,中国是完全有能力生产高纯度氟化氢的。但较大的困难在整个氟化氢产业链条上,高纯度氟化氢的生产对技术和工艺的要求都非常高,操作中相应设备的运行和操作需要紧密结合才能减少由于操作失误或者不够精确对于氢氟酸的提取产生影响。并且需要长期的测试。氢氟酸是一种具有腐蚀性的酸,必须小心使用。深圳纯氢氟酸厂

在使氢氟酸的过程中,必须注意安全距离和应急预案。成都氢氟酸工厂

各国基本都是采用氯化钾消除氟硅酸盐的干扰,用氢氧化钠标准滴定溶液,以酚酞的指标剂进行滴定。我国标准中的测定方法是将产品的总酸度测出后,再分别测出氟硅酸、硫酸含量。用总酸度数值分别减去氟硅酸含量、硫酸含量,之后结果以氟化氢表示。日本标准中的计算方法与我国标准有所不同但两个标准之后测定结果是一致的。另外从相关资料了解到,在测定氢氟酸含量过程中,我国和日本的测定标准中都加入冰块降温,两者目的都是使产品中的氟硅酸与钾盐反应物的溶解程度降到较低,确保在滴定过程氟硅酸钾不溶解。但我国采用的是在制样过程中加入冰块的方法,而日本标准中是在加入硝酸钾溶液后再加入冰块。我国标准中在制备试验溶液时加入冰块,除了保证氟硅酸钾不溶解,同时还能避免在称样过程中样品的挥发。成都氢氟酸工厂

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