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    光刻系统200包括照射系统230。照射系统230包括光源205，光源205产生脉冲光束210，并将脉冲光束210引导至对晶片220上的微电子特征进行图案化的光刻曝光设备或扫描仪215。晶片220放置在晶片台222上，晶片台222构造成保持晶片220并连接到定位器，该定位器配置成根据某些参数准确地定位晶片220。光束210也被引导通过束准备系统212，束准备系统212能够包括修改光束210的多个方面的光学元件。例如，束准备系统212能够包括反射或折射光学元件、光脉冲展宽器和光学光阑(包括自动遮蔽件)。光谱特征选择系统250基于控制系统185的输入来微调光源205的光谱输出。光刻系统200使用具有例如在深紫外线(duv)范围或极紫外线(euv)范围内的波长的光束210。光刻系统100还包括测量(或量测)系统270和控制系统185。量测系统270测量光束的一个或更多个光谱特征(诸如带宽和/或波长)。量测系统270推荐地包括多个传感器。量测系统270接收被从束分离装置260改变方向的光束210的一部分，所述束分离装置260放置在光源205和扫描仪215之间的路径中。束分离装置260将光束210的***部分引导至量测系统270中，将光束210的第二部分朝向扫描仪215引导。在一些实施方式中。无线充线圈由高导磁材料和导线制成，根据不同的充电标准和功率需求，线圈的匝数、形状和尺寸也会有所不同。成都线圈电话

    激光器采用波长为355nm的紫外纳秒激光器，激光器**大功率为40w，激光标记范围100mm*100mm。此激光器作用原理为多次重复作用在金属表面，使金属依次剥离，**后达到切割目的。该激光器尺寸精度高，热影响区小。本实施例中，激光在激光焦点处与纯铜发生作用，以螺旋圆运动轨迹沿着螺旋切割线将铜箔切割成螺旋状铜线。表2铜箔规格与对应的加工效果数据铜箔厚度(mm)线圈缝宽(mm)(4)切割后线圈平铺在吸附冶具表面不会发生变形，连同冶具一并取出，依次经过超声波处理-烘干-烤漆绝缘-烘干-叠放后-覆成品包装膜，加工完成。基于上述方法加工的充电线圈，本发明还提供了一种无线充电装置，本发明的无线充电装置充电转化效率高。尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，这些均应包含在本发明的保护范围之内。自贡线圈联系人耐高温线圈广泛应用于各种高温环境中，用于实现电能传输和信号传输等功能。

雕刻深度要求略大于铜厚，以线圈螺旋之间完全绝缘。3.在雕刻后的铜箔上表面，贴合一层厚度在5微米以下的绝缘膜：绝缘膜采用可采用pe、pet、pi等各类绝缘膜材，贴合过程采用热贴合，贴合温度不得高于衬底材料的t**，膜材结构可以露出或不露出内pad。4.剥离衬底材料，形成线圈结构根据衬底材料的可溶可熔特性剥离衬底材料，要求剥离环境不影响铜线圈和绝缘膜的材料；5.以下工艺不分先后：在剥离衬底材料的铜线圈表面真空贴合绝缘膜或印刷绝缘油墨(要求露出线圈外pad，如步骤3露出内pad，则此步骤不露出内pad，如步骤3未露出内pad，则此步骤露出内pad)；铜线圈内pad处(露出部位)焊接单面导电铜胶带(胶带厚度小于25μm)，从而实现单面导电铜胶带引出导线。以上所述*为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

如树脂片/膜)、或将衬底材料液化或加入溶剂制成油墨印刷/喷涂在铜箔表面，形成一定厚度的衬底。如在铜箔表面采用热压方式制备衬底，热压工艺步骤包括：对于半固化树脂片，可采用高于树脂材料t**的温度，且在高于100psi的压力下进行热压，使树脂具有一定流动能力，进一步地，推荐在真空环境下进行热压，以便排出铜箔间隙中的气体。本发明一实施例中，该衬底厚度范围为：，推荐1-3mm，如此可以保证运输时的强度。本发明实施例中，采用精密雕刻设备在铜面雕刻出所需的线圈图案(包括线圈阵列)，如材料激光雕刻机或者机械雕刻机，推荐机械雕刻机，如北京精雕公司的精密雕刻机。激光雕刻技术难以雕刻100μm以上厚度和，而机械雕刻机配套。在所述铜箔的表面雕刻图案时，雕刻深度要求略大于铜薄的厚度，以保证线圈螺旋之间完全绝缘。在步骤s03中，如图1(c)所示，在铜线圈层1背离衬底2的表面制备***绝缘层3；***绝缘层3的厚度为2-20μm，推荐25μm；本发明一实施例中，所述***绝缘层3为绝缘膜，具体地，***绝缘层3可采用pe(polyethylene，聚乙烯)膜、pet(polyethyleneterephthalate，聚对苯二甲酸乙二醇酯膜、pi(polyimide，聚酰亚胺)膜、pc(polycarbonate，聚碳酸酯)膜、pp。无线充线圈是用于无线充电技术的关键组件，它可以将电能转化为磁场能，并通过磁耦合原理传输给接收设备。

    连续多年居世界可观地位。我国已实现“从无到有”的突破，与此同时，企业综合素质得到普遍提升，一批具有较强市场竞争力的企业开始涌现。其中极大的突破在于对扁平线圈技术的掌握。佰力电子拥有14年的电感线圈研发经验，主营业务是扁平线圈和圆线线圈。吴晓伟表示，目前线圈行业是向着高频化发展，扁平线圈相比一般线圈具有重量轻、效率高、可以承受较大的电流、线圈内外部温差较小、散热性能好、磁场效率好、高压下噪音小等优点。主要应用于电源、太阳能、无线充电器、汽车电子、手机等高科技产品上。在以前，国内几乎没有具有规模生产的扁平线圈生产厂家，刚开始的时候线材主要依赖日本，设备、模具主要依赖中国台湾等等，通过近些年的发展，国内线材生产厂商已经能够逐渐解决漆膜，耐压，孔等技术问题，更好的配合扁平线圈生产厂商，在市场的拉动之下，扁线线圈发展前景一片光明，但整个经过多年的发展在技术上也有了很大的突破。而近年来线圈行业的发展势头良好，积累了雄厚资本并将吸引更多更大的投入，而这种发展势头也将**整个行业的线圈行业的投入会加大，完全改善在发展初期的投入小、技术水平低、操作工艺不完善、服务不完善等状况。立绕扁平线圈的匝数和线径可以根据实际应用需要进行调整，以实现不同的电感和电阻等性能参数。长沙立绕线圈联系方式

立绕线圈的电感值可以通过改变绕线数、导线直径、绕线间距等参数来调节。成都线圈电话

    所述***对侧边定向成实质上垂直于所述线圈的平面，所述第二对侧边定向成实质上平行于所述线圈的平面；和电绝缘材料，在所述***对侧边的侧边中的至少一个上，所述第二对侧边的侧边中的至少一个没有任何电绝缘材料，所述永磁体和线圈布置成使得当充足幅值的电流流过所述线圈时在所述永磁体和线圈之间形成力。7.一种在光刻设备中用于定位掩模版或晶片的平台，所述平台包括：台；和致动器，机械耦接至所述台，所述致动器包括永磁体和具有扁平线的实质上平坦的线圈，所述扁平线包括：导体，具有实质上矩形的横截面，且具有***对侧边和第二对侧边，所述***对侧边定向成实质上垂直于所述线圈的平面，所述第二对侧边定向成实质上平行于所述线圈的平面；和在所述***对侧边的侧边中的至少一个上的电绝缘材料，所述第二对侧边的侧边中的至少一个没有任何电绝缘材料，所述永磁体和线圈布置成使得当充足幅值的电流流过所述线圈时在所述永磁体和线圈之间形成力。8.一种制造线圈的方法，包括以下步骤：提供一长度的扁平线，所述扁平线包括具有实质上矩形的横截面的导体，用电绝缘材料覆盖所述导体；将所述长度的扁平线卷绕成实质上平坦的线圈。成都线圈电话